Efector final de cerámica de alúmina de alta pureza para robots de manipulación de obleas
O efector final de cerámica de alúmina de St.Cera está mecanizado con precisión a partir de Al₂O₃ de alta pureza ao 99,8 % mediante equipos avanzados de rectificado CNC de 5 eixes. As nosas capacidades de fabricación inclúen rectificadoras de precisión e centros de mecanizado CNC, o que permite xeometrías complexas con alta precisión. O efector final presenta un perfil fino (de ata 1,5 mm) cun bordo de ataque cónico para unha inserción suave da oblea. O material proporciona unha alta rixidez (módulo de Young de 380 GPa), unha excelente resistencia ao desgaste e unha estabilidade térmica de ata 800 °C. Cada unidade está rectificada con precisión para conseguir unha planitude de 0,003 mm, un paralelismo de 0,002 mm e un acabado superficial de Ra0,1, o que garante un contacto consistente coa oblea e un funcionamento libre de partículas en contornas de fábrica de semicondutores. Dispoñible en lonxitudes de 150 mm a 450 mm, con xeometrías de punta personalizadas (agarre de bordo, Bernoulli, plana) e bridas de montaxe para adaptarse a robots OEM. As opcións de acabado superficial inclúen lapeado, pulido ou revestimento disipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Especificacións (baseadas en 99,8 % de Al)₂O₃e capacidades de fabricación de St.Cera):
| Propiedade | Valor |
| Material | 99,8 % de alúmina (marfil) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia á flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Planitude | 0,003 mm |
| Paralelismo | 0,002 mm |
| Acabado superficial | Ra0.1 (lapeado/pulido) |
| Temperatura máxima de funcionamento | 800 °C |
| Rango de lonxitude | 150–450 mm |
Aplicacións:
- · Transferencia de obleas en robots de baleiro e atmosféricos
- · Efectores finais de automatización FAB para obleas de 200 mm/300 mm
- · Manexo de obleas finas (con opción ESD)
Capacidades de fabricación:
As nosas rectificadoras de precisión e centros de mecanizado CNC permiten a produción de compoñentes cerámicos complexos con:
- · Lonxitude máxima de mecanizado: 1500 mm
- · Diámetro exterior máximo: 600 mm
- · Diámetro interior mínimo: 0,2 mm
- · Grosor máximo: 100 mm
Control de calidade:
Rectitude 0,005 mm, perpendicularidade 0,005 mm, redondez 0,002 mm, paralelismo 0,002 mm, concentricidade 0,01 mm verificadas por CMM. Cada unidade límprase por ultrasóns e embalase para sala branca de clase 100.
