-
Efector final de cerámica de alúmina de alta pureza para robots de manipulación de obleas
O efector final de cerámica de alúmina de St.Cera está mecanizado con precisión a partir de Al₂O₃ de alta pureza ao 99,8 % mediante equipos avanzados de rectificado CNC de 5 eixes. As nosas capacidades de fabricación inclúen rectificadoras de precisión e centros de mecanizado CNC, o que permite xeometrías complexas con alta precisión. O efector final presenta un perfil fino (de ata 1,5 mm) cun bordo de ataque cónico para unha inserción suave da oblea. O material proporciona unha alta rixidez (módulo de Young de 380 GPa), unha excelente resistencia ao desgaste e unha estabilidade térmica de ata 800 °C. Cada unidade está rectificada con precisión para lograr unha planitude de 0,003 mm, un paralelismo de 0,002 mm e un acabado superficial de Ra0,1, o que garante un contacto consistente coa oblea e un funcionamento libre de partículas en contornas de fábrica de semicondutores. Dispoñible en lonxitudes de 150 mm a 450 mm, con xeometrías de punta personalizadas (agarre de bordo, Bernoulli, plana) e bridas de montaxe para adaptarse a robots OEM. As opcións de acabado superficial inclúen lapeado, pulido ou revestimento disipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
ST.CERA efector final de Bernoulli de cerámica de alúmina personalizado
Como fabricante líder de brazos de manipulación/efectores finais cerámicos, desenvolvemos un brazo de manipulación/efectores finais non convencional que responde ás necesidades dese mercado. Un brazo de manipulación/efectores finais cerámico baseado no principio de Bernoulli que pode levitar e transportar a oblea mediante fluxo de aire cun contacto periférico mínimo.
-
ST.CERA efector final cerámico ESD personalizado
Con características de resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, resistencia á abrasión e illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
-
efector final de agarre de cerámica de alúmina personalizada de ST.CERA
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
-
Efector final de bandexa de cerámica de alúmina personalizada de ST.CERA
Este é un efector final/brazo de manipulación de cerámica tipo bandexa que se usa en condicións de baleiro.
O brazo de manipulación/efector final cerámico é "máis resistente á calor", "menos deflexión" e "máis lixeiro" en comparación cos metálicos.
-
ST.CERA efector final de baleiro de cerámica de alúmina personalizado
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
-
Efector final de cerámica de alúmina personalizado de ST.CERA
ST.CERA ofrece revestimentos ESD e material cerámico ESD. Efector final feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1 e resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Efector final de baleiro de cerámica de alúmina personalizado de ST.CERA
Este é un efector final/brazo de manipulación de cerámica tipo bandexa que se usa en condicións de baleiro.
O brazo de manipulación/efector final cerámico é "máis resistente á calor", "menos deflexión" e "máis lixeiro" en comparación cos metálicos.
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Manipulación de obleas de efector final de cerámica de alúmina personalizada de ST.CERA
ST.CERA ofrece revestimentos ESD e efectores finais/brazos de manipulación de material cerámico ESD cun canal oco incorporado. Especializámonos nunha técnica que forma un canal de aire de baleiro dentro dunha soa peza de material sen usar adhesivo.
Non hai risco de contaminantes, desgasificación ou partículas. O brazo de manipulación/efector final de baleiro de ST.CERA con tecnoloxía de revestimento especial está illado electricamente. Tamén podemos fornecer material cerámico ESD que está illado electricamente sen ningún revestimento.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃. -
Compoñentes de equipos semicondutores de efector final de cerámica de alúmina
Evite as partículas que se poidan xerar nos bordos biselados ou angulados e na superficie traseira mentres se transportan as obleas ou están en contacto co efector final/brazo de manipulación.
Para as guías, adoptouse un material brando que non dana a oblea.
O adelgazamento é posible coa tecnoloxía de canles de baleiro incorporada de ST.CERA que non usa adhesivos.
É posible facer orificios de montaxe e cambiar a lonxitude e a anchura da base onde se monta o efector final/brazo de manipulación no robot.
Os sensores de montaxe, os parafusos e os soportes están dispoñibles como opción.
Deseñado para ser usado na atmosfera.
-
Mecanizado CNC personalizado do efector final cerámico St.Cera
ST.CERA ofrece un efector final/brazo de manipulación de cerámica ao baleiro cun canal oco incorporado. Especializámonos nunha técnica que forma un canal de aire ao baleiro dentro dunha soa peza de material sen usar adhesivo.
Non hai risco de contaminantes, desgasificación ou partículas. O efector final/brazo de manipulación de baleiro de ST.CERA con canle incorporada é duradeiro e pódese usar a altas temperaturas. Ademais, o noso custo de fabricación pódese reducir ao eliminar a montaxe innecesaria.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
efector final cerámico antiestático de alúmina
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
