-
Brazo robótico de cerámica de alúmina de alta pureza para a manipulación de obleas
O brazo robótico de cerámica de alúmina de St.Cera está fabricado con precisión a partir dun 99,8 % de Al₂O₃ (alúmina) de alta pureza. Combina unha resistencia á flexión excepcional (361 MPa), unha alta dureza (16 GPa) e unha baixa densidade (3,93 g/cm³), o que resulta nun brazo lixeiro pero ríxido para a transferencia de obleas de semicondutores. O coeficiente de expansión térmica do material (7,2 × 10⁻⁶/°C) é moi semellante ao do silicio, o que minimiza a desaxuste térmico durante o procesamento.
-
Efector final cerámico de Bernoulli: manipulación de obleas sen contacto para obleas finas e fráxiles
O efector final cerámico Bernoulli de St.Cera emprega a sustentación aerodinámica para manipular obleas sen contacto físico. Fabricado con alúmina (Al₂O₃) ou carburo de silicio (SiC) de alta pureza ao 99,8 %, conta con boquillas mecanizadas con precisión que expulsan gas presurizado para crear unha fina película de aire entre o efector final e a oblea. Este principio sen contacto elimina a contaminación da parte traseira, o desconchado dos bordos e os danos superficiais, o que o fai ideal para obleas delgadas (≤100 μm), fráxiles ou deformadas. O substrato cerámico proporciona unha alta resistencia á flexión (361 MPa para Al₂O₃; ata 550–600 MPa para SiC), baixa masa e excelente estabilidade dimensional, o que garante un posicionamento repetible en robots de transferencia de obleas de alta velocidade.
-
Efector final cerámico recuberto de teflón: superficie antiadherente para manipulación de obleas sensibles
O efector final cerámico recuberto de teflón (PTFE) de St.Cera combina un substrato de alúmina de alta resistencia cun revestimento uniforme de PTFE de baixa fricción (grosor de 15–30 μm). O revestimento proporciona un coeficiente de fricción extremadamente baixo (≤0,1), unha excelente resistencia química e propiedades antiadherentes, o que evita a adhesión das obleas e elimina a contaminación da parte traseira. O substrato cerámico subxacente (99,8 % de Al₂O₃) ofrece unha alta resistencia á flexión (361–1000 MPa), resistencia ao desgaste e estabilidade térmica ata 260 °C (límite do revestimento). Este efector final é ideal para manipular obleas delicadas, finas ou pegañentas (por exemplo, despois dun revestimento de fotorresina ou procesos químicos).
