Brazo robótico de cerámica de alúmina de alta pureza para a manipulación de obleas

O brazo robótico de cerámica de alúmina de St.Cera está fabricado con precisión a partir dun 99,8 % de Al₂O₃ (alúmina) de alta pureza. Combina unha resistencia á flexión excepcional (361 MPa), unha alta dureza (16 GPa) e unha baixa densidade (3,93 g/cm³), o que resulta nun brazo lixeiro pero ríxido para a transferencia de obleas de semicondutores. O coeficiente de expansión térmica do material (7,2 × 10⁻⁶/°C) é moi semellante ao do silicio, o que minimiza a desaxuste térmico durante o procesamento.

Especificacións (baseado nun 99,8 % de Al₂O₃):

Aplicacións:

- Robots de transferencia de obleas de baleiro (200 mm/300 mm)

- Sistemas de tratamento atmosférico

- Brazos efectores terminais para a automatización FAB

Proceso de fabricación:

Prensado isostático → mecanizado ecolóxico → sinterización a 1600 °C → rectificado de precisión CNC → limpeza por ultrasóns → envasado para sala branca de clase 100. Cada brazo é inspeccionado ao 100 % por CMM para comprobar a súa planitude (±0,01 mm) e rugosidade superficial (Ra ≤0,4 μm).

Control de calidade:

St.Cera conta coa certificación ISO 9001:2015. Realizamos probas de penetración de tinguiduras para microfisuras, flexión de tres puntos para a resistencia á flexión e probas de resistencia dieléctrica segundo a norma ASTM D149.

Vantaxes sobre os brazos metálicos:

- 50 % máis lixeiro que o aceiro inoxidable

- Sen corrosión galvánica

- Menor xeración de partículas (≤0,05 partículas/cm²)

- Revestimento seguro contra descargas electrostáticas dispoñible (10⁶–10⁹ Ω/sq)

Personalización:

Lonxitude de 150 mm a 450 mm, formas de punta (agarre de bordo, Bernoulli, baleiro) e patróns de bridas de montaxe segundo os debuxos OEM. Prototipos en 2 semanas.

Para pedidos a granel, solicite un orzamento.