-
ST.CERA Equipamento de semicondutores personalizado Mandriles cerámicos
O proceso crítico do campo dos semicondutores debe realizarse nunha sala limpa, especialmente para aqueles dispositivos que se deben usar en condicións de alta temperatura, baleiro e gas corrosivo. A cerámica pode manter unha alta estabilidade en ambientes físicos e químicos complexos.
-
ST.CERA Equipamento de semicondutores personalizado Placa de cerámica
O proceso crítico do campo dos semicondutores debe realizarse nunha sala limpa, especialmente para aqueles dispositivos que se deben usar en condicións de alta temperatura, baleiro e gas corrosivo. A cerámica pode manter unha alta estabilidade en ambientes físicos e químicos complexos.
-
Anel de enfoque cerámico semiconductor personalizado ST.CERA
O proceso crítico do campo dos semicondutores debe realizarse nunha sala limpa, especialmente para aqueles dispositivos que se deben usar en condicións de alta temperatura, baleiro e gas corrosivo. A cerámica pode manter unha alta estabilidade en ambientes físicos e químicos complexos.
-
Brazo cargador de cerámica de alúmina 99,5 % personalizado de ST.CERA
O brazo de manipulación/efector final cerámico instálase nun robot de manipulación de obleas ou "efectores finais" e utilízase para transportar obleas de silicio dentro ou fóra de casetes ou cámaras de proceso.
As vantaxes do uso da cerámica son a redución da deflexión debido á alta resistencia á flexión, a resistencia a altas temperaturas e a eliminación da contaminación e as partículas metálicas. -
Efector final de cerámica de alúmina personalizado de ST.CERA
ST.CERA ofrece revestimentos ESD e material cerámico ESD. Efector final feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1 e resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Anel de enfoque cerámico semicondutor personalizado de ST.CERA
Estar feitas de cerámica de alúmina de alta pureza (superior ao 99,5 %), formada por prensado isostático en frío e sinterizada a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento.
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Bucha de cerámica de alúmina de precisión semicondutora personalizada de ST.CERA
Estar feitas de cerámica de alúmina de alta pureza (superior ao 99,5 %), formada por prensado isostático en frío e sinterizada a alta temperatura, logo mecanizadas e pulidas con precisión, as pezas de reposto cerámicas poden cumprir calquera requisito estrito dos equipos semicondutores coas súas características de resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, baixa expansión térmica e illamento.
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Efector final de baleiro de cerámica de alúmina personalizado de ST.CERA
Este é un efector final/brazo de manipulación de cerámica tipo bandexa que se usa en condicións de baleiro.
O efector final/brazo de manipulación cerámico é "máis resistente á calor", "menos deflexión" e "máis lixeiro" en comparación cos metálicos.
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Tubos e varillas de cerámica de alúmina 99,5 % personalizadas de ST.CERA
Coas súas características de resistencia a altas temperaturas, á corrosión, á abrasión e ao illamento, a cerámica pode funcionar en moitos tipos de equipos de produción de semicondutores con condicións de alta temperatura, baleiro ou gas corrosivo durante moito tempo.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
-
Manipulación de obleas de efector final de cerámica de alúmina personalizada de ST.CERA
ST.CERA ofrece revestimentos ESD e efectores finais/brazos de manipulación de material cerámico ESD cun canal oco incorporado. Especializámonos nunha técnica que forma un canal de aire de baleiro dentro dunha soa peza de material sen usar adhesivo.
Non hai risco de contaminantes, desgasificación ou partículas. O brazo de manipulación/efector final de baleiro de ST.CERA con tecnoloxía de revestimento especial está illado electricamente. Tamén podemos fornecer material cerámico ESD que está illado electricamente sen ningún revestimento.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃. -
Compoñentes de equipos semicondutores de efector final de cerámica de alúmina
Evite as partículas que se poidan xerar nos bordos biselados ou angulados e na superficie traseira mentres se transportan as obleas ou están en contacto co efector final/brazo de manipulación.
Para as guías, adoptouse un material brando que non dana a oblea.
O adelgazamento é posible coa tecnoloxía de canles de baleiro incorporada de ST.CERA que non usa adhesivos.
É posible facer orificios de montaxe e cambiar a lonxitude e a anchura da base onde se monta o efector final/brazo de manipulación no robot.
Os sensores de montaxe, os parafusos e os soportes están dispoñibles como opción.
Deseñado para ser usado na atmosfera.
-
Mecanizado CNC personalizado do efector final cerámico St.Cera
ST.CERA ofrece un efector final/brazo de manipulación de cerámica ao baleiro cun canal oco incorporado. Especializámonos nunha técnica que forma un canal de aire ao baleiro dentro dunha soa peza de material sen usar adhesivo.
Non hai risco de contaminantes, desgasificación ou partículas. O efector final/brazo de manipulación de baleiro de ST.CERA con canle incorporada é duradeiro e pódese usar a altas temperaturas. Ademais, o noso custo de fabricación pódese reducir ao eliminar a montaxe innecesaria.
Feito de po de alúmina de alta pureza, procesado por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura e acabado de precisión, pode alcanzar unha tolerancia de dimensión de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1, resistencia á temperatura de 1600 ℃.
