Mandril de baleiro cerámico poroso a base de alúmina para a manipulación de obleas finas
O mandril poroso a base de alúmina de St.Cera está fabricado con Al₂O₃ de alta pureza ao 99,6 %, cunha porosidade aberta controlada do 30–45 % e un tamaño de poro uniforme que oscila entre os 10 e os 50 μm. A diferenza dos mandriles ranurados, a superficie porosa proporciona un baleiro distribuído por toda a parte traseira da oblea, eliminando as marcas nos bordos e permitindo unha suxeición suave de obleas ultrafinas (≤100 μm) ou deformadas. O material ofrece unha resistencia á flexión de ≥250 MPa e unha estabilidade térmica de ata 400 °C ao aire.
Especificacións(baseado en 99,6 % de Al)₂O₃):
| Propiedade | Valor |
| Material | 99,6 % de alúmina (branca) |
| Porosidade | 30–45% (axustable) |
| Tamaño medio dos poros | 10–50 μm |
| Resistencia á flexión | ≥250 MPa |
| Densidade | 3,88 g/cm³ |
| Planitude (máis de 200 mm) | ≤5 μm |
| Temperatura máxima de funcionamento | 400 °C (aire) |
| Acabado superficial | Solpado (Ra ≤0,8 μm) |
Aplicacións:
- · Rectificado posterior de obleas finas (≤50 μm)
- · Montaxe de obleas deformadas para corte en dados
- · Recollida de matrices individualizadas
- · Manipulación de substratos de vidro
Fabricación:
Po mesturado con formadores de poros → prensado isostático → sinterización a 1600 °C → solapado ata o espesor final. Cada mandril é probado por fluxo para a uniformidade do baleiro (desviación da presión <5 %) e inspeccionado para a distribución do tamaño dos poros (SEM).
Vantaxes sobre os mandriles convencionais:
- · Sen marcas na parte traseira da oblea nin desprazamento da matriz
- · Admite obleas con curvatura de ata 500 μm
- · Superficie autolimpante (os poros resisten a obstrución)
- · O soporte uniforme elimina a tensión local
Cpersonalización:
Formas redondas ou cadradas, diámetro de 100–450 mm. Anel de selado de bordo dispoñible para control de baleiro por zonas.
Solicite unha mostra para o tamaño específico da súa oblea.
