Mandril de baleiro de alúmina de 12 polgadas para procesamento de obleas de 300 mm
O mandril de baleiro de 12 polgadas de St.Cera está fabricado con precisión a partir de alúmina de alta pureza (Al₂O₃) ao 99,8 % para a manipulación de obleas de 300 mm. O mandril presenta unha superficie con ranuras finas (ancho da ranura de 0,5 a 1,0 mm, paso de 2 a 3 mm) para garantir unha distribución uniforme do baleiro en todo o diámetro de 300 mm. A planitude mantense dentro dos 5 μm, o que permite unha fixación da oblea sen deformacións durante o corte en dados, a moenda traseira e a inspección. A alta resistencia á flexión (361 MPa) e a dureza (16 GPa) do material garanten estabilidade dimensional a longo prazo mesmo en ciclos de baleiro repetidos.
Especificacións (baseado nun 99,8 % de Al₂O₃):
| Propiedade | Valor |
| Diámetro | 300 mm (12 polgadas) |
| Material | 99,8 % de alúmina (marfil) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia á flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Planitude (máis de 300 mm) | ≤5 μm |
| Largura da ranura | 0,5–1,0 mm |
| Temperatura máxima de funcionamento | 800 °C |
| Rixidez dieléctrica | 15×10⁶ V/m |
Aplicacións:
Corte e marcado de obleas de 300 mm
Moenda da parte traseira da oblea (soporte de oblea fina)
Inspección e sondaxe óptica
Mandriles temporais de unión/desunión
Fabricación:
Rectificado e lapeado por CNC ata a planitude final, ranurado con discos diamantados, limpo por ultrasóns e embalado nunha sala branca de clase 100. Cada mandril é inspeccionado ao 100 % para comprobar a súa planitude (interferómetro láser) e a súa profundidade de ranura (perfilómetro).
Vantaxes:
Baixa xeración de partículas (≤0,05 partículas/cm²)
Quimicamente inerte a solventes e ácidos
Superficie segura contra descargas electrostáticas (resistividade >10¹³ Ω·cm)
Patróns de orificios de baleiro personalizados e portos traseiros dispoñibles.
