Efector final cerámico de carburo de silicio (SiC): alta rixidez para a manipulación de obleas a alta temperatura
O efector final cerámico SiC de St.Cera está fabricado con carburo de silicio de alta pureza (contido de SiC 99,72 %, Si libre 0,05 %) utilizando o material de lote S1111. Ofrece propiedades mecánicas excepcionais: resistencia á flexión 449 MPa (medida), módulo elástico 457 GPa (medido) e dureza Vickers 25–28 GPa (típica). A baixa densidade (3,10–3,15 g/cm³, típica) proporciona unha alta rixidez específica, ideal para robots de transferencia de obleas de alta velocidade. Cunha condutividade térmica de 120–150 W/m·K (típica) e un coeficiente de expansión térmica de 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (típico), este efector final disipa eficazmente a calor e mantén a estabilidade dimensional durante a manipulación a altas temperaturas (ata 1600–1700 °C, sen carga). A cor negra/gris e a absorción nula de auga garanten a compatibilidade coa sala limpa.
Especificacións(baseado no informe de probas de SiC S1111 subministrado e nos valores típicos)):
| Propiedade | Valor |
| Material | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % Si libre) |
| Cor | Negro/Gris |
| Densidade | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorción de auga | 0% |
| Resistencia á flexión | 449 MPa (media) |
| Tenacidade á fractura | 3,12 MPa·m¹/² (media) |
| Módulo elástico | 457 GPa |
| Dureza Vickers | 25–28 GPa |
| Condutividade térmica (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura máxima de uso (sen carga) | 1600–1700 °C |
Aplicacións:
● Manipulación de obleas a alta temperatura (post-recocido, RTP, epitaxia)
● Cámaras de gravado por plasma que requiren alta resistencia á erosión
● Robots de transferencia de alta velocidade (lixeiros, alta rixidez)
Fabricación:
Sinterización de po de SiC → rectificado CNC de precisión do perfil do brazo e das características de montaxe → lapeado superficial → limpeza por ultrasóns. Inspección dimensional do 100 % e proba de fugas de helio para aplicacións de baleiro.
Control de calidade:
● Inspección CMM de lonxitude, anchura e planitude
● Proba de resistencia á flexión por lote (segundo o estándar do informe de proba)
● Inspección visual con microscopio para detectar defectos superficiais
Vantaxes sobre a alúmina ou o metal:
● Módulo elástico 2 veces maior (457 fronte a ~380 GPa para a alúmina): menos deflexión
● Conductividade térmica 3 veces maior: disipación da calor máis rápida
● Resiste >1600 °C fronte aos 800 °C da alúmina no aire
● Densidade inferior á do aceiro: redución do peso do 40 %
Personalización:
Lonxitudines de 150 a 450 mm, formas das puntas (de agarre en bordo, Bernoulli, planas), patróns de bridas de montaxe segundo o debuxo do fabricante.
*Todos os datos mecánicos anteriores proceden do informe de probas subministrado (lote S1111). Os valores térmicos e de dureza son típicos para este grao de SiC; póñase en contacto connosco para obter a certificación específica do lote.*
