Núcleo cerámico de alúmina de alta pureza para accesorios de semicondutores
O núcleo cerámico de alúmina de St.Cera está formado con precisión a partir dun 99,8 % de Al₂O₃ de alta pureza, o que ofrece unha excepcional resistencia dieléctrica (15 × 10⁶ V/m), estabilidade térmica de ata 1600 °C e resistencia á fluencia baixo carga. Estes núcleos utilízanse como compoñentes estruturais en accesorios de procesos de alta temperatura, bases de quentadores, revestimentos de cámaras de plasma e illantes eléctricos. A alta dureza do material (16 GPa) e a baixa absorción de auga (0 %) garanten a fiabilidade a longo prazo en ambientes agresivos.
Especificacións(baseado en 99,8 % de Al)₂O₃):
| Propiedade | Valor |
| Material | 99,8 % de alúmina (marfil) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia á flexión | 361 MPa |
| Tenacidade á fractura | 3–4 MPa·m¹/² |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Condutividade térmica | 32 W/m·k |
| Expansión térmica (25-1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Rixidez dieléctrica | 15×10⁶ V/m |
| Resistencia específica | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Temperatura máxima de funcionamento | 1600 °C |
Aplicacións:
- · Núcleo calefactor para reactores epitaxiais
- · Revestimento e placas de cuberta da cámara de plasma
- · Illantes eléctricos de alta tensión
- · Base de fixación para robots de manipulación de obleas
Fabricación:
Prensado isostático → mecanizado en verde → sinterización a 1600 °C → rectificado CNC ata as dimensións finais (tolerancia de ±0,01 mm). Cada núcleo é inspeccionado por CMM e detección de defectos por ultrasóns.
Garantía de calidade:
Certificación ISO 9001:2015. Ensaios de penetración de tinguiduras para fendas superficiais; ensaio de resistencia dieléctrica segundo ASTM D149.
AVantaxes sobre outras cerámicas:
- · Maior rixidez dieléctrica que a circona (15 fronte a <10×10⁶ V/m)
- · Custo menor que o SiC para aplicacións que non sexan de plasma
- · Excelente resistencia química aos halóxenos (excepto HF)
Formas personalizadas:
Cilindros, barras cadradas, placas ou xeometrías complexas. Tamaño mínimo da característica 0,5 mm.
Contacta connosco para obter deseños de núcleos personalizados e soporte de simulación térmica.
