Efector final de cerámica de alúmina con canles de baleiro integradas
O efector final de baleiro de alúmina de St.Cera integra canles de baleiro e orificios de succión mecanizados con precisión directamente no corpo de alúmina de alta pureza ao 99,8 %. Este deseño elimina as almofadas de baleiro externas, o que permite a recollida directa da oblea cunha forza de suxeición uniforme. A alta resistencia á flexión (361 MPa) e a dureza (16 GPa) do material garanten a estabilidade dimensional a longo prazo en ciclos de baleiro repetidos. A planitude na área da almofada mantense dentro dos 10 μm, o que evita a tensión e a rotura da oblea. Os portos de baleiro están situados na brida de montaxe traseira para unha fácil integración cos brazos robóticos OEM.
Especificacións(baseado en 99,8 % de Al₂O₃):
| Propiedade | Valor |
| Material | 99,8 % de alúmina (marfil) |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia á flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Expansión térmica | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Planitude da almofada | ≤10 μm |
| Largura do canal de baleiro | 0,5–2,0 mm |
| Temperatura máxima de funcionamento | 800 °C |
Aplicacións:
● Recollida ao baleiro de obleas finas ou deformadas
● Manipulación directa de obleas sen agarre nos bordos
● Transferencia de substrato de células solares e LED
Fabricación:
Bruta de alúmina sinterizada → perforación CNC de 5 eixes de canais e orificios de baleiro → lapeado superficial → limpeza ultrasónica → proba de fugas de helio. Cada efector está probado ao 100 % para garantir a uniformidade do baleiro.
Vantaxes:
● Sen ventosas externas (reduce as fontes de partículas)
● A presión de suxeición uniforme evita o marcado das obleas
● Quimicamente inerte e compatible con salas brancas
