Pezas cerámicas de alúmina seguras contra descargas electrostáticas para a manipulación de obleas sensibles á electricidade estática
As pezas cerámicas de alúmina seguras para descargas electrostáticas (ESD) de St.Cera fabrícanse con Al₂O₃ de alta pureza ao 99,8 % cunha resistividade superficial personalizada de 10⁶–10⁹ Ω/sq, conseguida mediante un proceso de dopado ou revestimento patentado. Estas pezas disipan eficazmente a carga estática, evitando danos electrostáticos en obleas e dispositivos semicondutores sensibles. O material base mantén a súa alta resistencia á flexión (361 MPa), dureza (16 GPa) e resistencia dieléctrica (15×10⁶ V/m). As pezas cerámicas seguras para ESD inclúen efectores finais, pasadores de elevación, carrís guía e accesorios personalizados para a automatización de FAB.
Especificacións(baseado en Al₂O₃ ao 99,8 % con tratamento ESD):
| Propiedade | Valor |
| Material base | 99,8% de alúmina |
| Resistividade superficial (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/cm² |
| Densidade | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia á flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Expansión térmica (25-1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura máxima de funcionamento | 800 °C |
| Rixidez dieléctrica (a granel) | 15×10⁶ V/m |
Nota: A resistividade superficial ESD non se inclúe nas táboas de propiedades dos materiais subministradas. O rango anterior é o estándar da industria para cerámicas disipativas. Póñase en contacto connosco para obter informes de probas.
Aplicacións:
● Efectores finais seguros contra descargas electrostáticas para a transferencia de obleas
● Pinos de conexión a terra e accesorios ESD en equipos FAB
● Tomas de proba para dispositivos sensibles á electricidade estática
● Ferramentas para salas brancas onde o control estático é fundamental
Fabricación e calidade:
Procesamento estándar de alúmina + tratamento superficial ESD → resistividade superficial medida segundo ANSI/ESD STM11.11. Cada peza é probada ao 100 % cun eléctrodo de anel concéntrico.
Vantaxes:
● Evita a perda de rendemento relacionada coa ESD
● Mantén a resistencia mecánica e química da cerámica
● Sen xeración de partículas por descarga estática
