Anel de selado cerámico de alúmina de alta pureza para o selado de cámaras de alta temperatura

A xunta de selado cerámica de St.Cera está deseñada como alternativa ás xuntas tóricas de polímero en ambientes extremos onde os elastómeros se degradan. Fabricada con alúmina de alta pureza (Al₂O₃) ao 99,8 %, esta xunta de selado ríxida utilízase en aplicacións de selado estático (normalmente combinada cunha xunta de metal brando ou grafito) para proporcionar unha contención fiable de baleiro ou gas a temperaturas de ata 800 °C e en ambientes agresivos de plasma ou químicos. O material ofrece cero desgasificación, alta resistencia á compresión (resistencia á flexión subxacente de 361 MPa) e inercia química (resistente a halóxenos, ácidos e álcalis, excepto HF). As superficies de selado solapadas con precisión (planitude ≤5 μm, rugosidade superficial Ra ≤0,2 μm) garanten un contacto hermético cos compoñentes metálicos ou cerámicos de acoplamento.

Especificacións(baseado en 99,8 % de Al)₂O₃):

Aplicacións:

• · Selos estáticos de cámaras de proceso de semicondutores (CVD, PVD, gravado)
• · Xuntos de porta de forno de alta temperatura
• · Bridas de paso de baleiro
• · Peches de recipientes de reactores químicos

Proceso de fabricación:

Prensado isostático → sinterización a 1600 °C → lapeado de precisión por dobre cara para conseguir superficies de selado ultraplanas e lisas → biselado de bordos → limpeza por ultrasóns. Cada anel está probado ao 100 % contra fugas nun detector de fugas de helio cunha xunta metálica estándar.

Control de calidade:

• · Comprobación dimensional da CMM (diámetro interior, diámetro exterior, espesor, paralelismo)
• · Perfilómetro de superficie para Ra e ondulación
• · Medición de planitude mediante planitude óptica
• · Proba de fugas de helio (método de contrapresurización)

Vantaxes sobre as xuntas tóricas de polímero:

• · Soporta 800°C fronte a <300°C para FFKM
• · Cero desgasificación: sen contaminación do ambiente de baleiro
• · Resistente a todas as químicas do plasma (flúor, cloro, osíxeno)
• · Sen complexión de compresión nin deformación permanente
• · Vida útil ilimitada en contornas limpas

Limitacións (observacións críticas):

• · Non é unha xunta tórica— é un anel cerámico ríxido que require unha xunta branda (de cobre, aluminio ou grafito) para selar.
• · Non se adapta a movementos dinámicos nin a grandes desalineacións de bridas.
• · Custo inicial maior que as xuntas tóricas de polímero, pero unha vida útil máis longa reduce o custo de propiedade.
• · Fráxil: manexar con coidado; evitar impactos puntuais ou tensións de flexión.

Nota:Os datos anteriores seguen estritamente a táboa de propiedades de Al₂O₃ subministrada. Non se proporcionaron datos para materiais elastoméricos. Este produto é unha xunta de selado estática, non unha xunta tórica elastomérica. Confirme se isto cumpre cos requisitos da súa aplicación.