Mandril de baleiro de cerámica porosa para a manipulación de obleas deformadas
O mandril cerámico poroso de St.Cera está deseñado a partir de alúmina de alta pureza cunha porosidade aberta uniforme do 30–45 % e tamaños de poro que oscilan entre os 10 e os 100 μm. A diferenza dos mandriles ranurados convencionais, a superficie porosa proporciona un baleiro distribuído por toda a parte traseira da oblea, suxeitando eficazmente as obleas deformadas, delgadas ou individuais sen que os bordos se desprendan nin se rompan. O baleiro suave (axustable mediante un restritor) tamén evita as marcas na parte traseira.
Especificacións(baseado en 99,6 % de Al)₂O₃):
| Propiedade | Valor |
| Porosidade | 30–45% |
| Tamaño medio dos poros | 10–100 μm (seleccionable) |
| Resistencia á flexión | ≥250 MPa |
| Planitude (máis de 300 mm) | ≤5 μm |
| Acabado superficial | Solpado (Ra 0,8 μm) |
| Nivel máximo de baleiro | -80 kPa |
| Temperatura de funcionamento | 400 °C (aire), 600 °C (inerte) |
| Material | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ ou SiC |
Aplicacións:
Moenda traseira de obleas finas (≤50 μm)
Montaxe de obleas deformadas para corte en dados
Recollida de dados individualizados desde cinta
Manipulación de paneis de vidro
Fabricación e calidade:
Po cerámico mesturado con formadores de poros orgánicos → prensado → sinterizado → lapeado ata o grosor final. Cada mandril é probado por fluxo para a uniformidade do baleiro (desviación ≤5 %) e inspeccionado para a distribución do tamaño dos poros (SEM). Planitude medida cun interferómetro láser.
Vantaxes sobre os mandriles acanalados:
Sen marcas de bordo da oblea nin desprazamento da matriz
Sostén obleas deformadas (ata 500 μm de curvatura)
Elimina a obstrución do burato de aspiración
Soporte autonivelante para substratos finos
Personalización:
Formas redondas ou rectangulares, tamaño de ata 600 mm. Podemos aplicar aneis de selado de bordos ou divisións de baleiro por zonas. Versións con soporte metálico dispoñibles para requisitos de alta rixidez.
Solicite unha mostra para a proba de tamaño e deformación da súa oblea.
